Use of WNx as diffusion barrier for copper airbridged low noise GaAs PHEMT

H. C. Chang*, Edward Yi Chang, Y. C. Lien, L. H. Chu, S. W. Chang, R. C. Huang, H. M. Lee

*此作品的通信作者

    研究成果: Article同行評審

    19 引文 斯高帕斯(Scopus)

    指紋

    深入研究「Use of WNx as diffusion barrier for copper airbridged low noise GaAs PHEMT」主題。共同形成了獨特的指紋。

    Engineering & Materials Science