Two-axis MEMS scanners with radial vertical combdrive actuators - Design, theoretical analysis, and fabrication
- Jui Che Tsai*
- , Sheng Jie Chiou
- , Tien Liang Hsieh
- , Chia-Wei Sun
- , Dooyoung Hah
- , Ming C. Wu
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
22
引文
斯高帕斯（Scopus）