Thermal reactions of F2 and NF3 with silicon(110) studied by laser ionization mass spectrometry
D. W. Squire, J. A. Dagata, D. S.Y. Hsu, C. S. Dulcey, Ming-Chang Lin*
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）