原文 | English |
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專利號 | US7,501,348B2 |
出版狀態 | Published - 10 3月 2009 |
The method for forming a semiconductor structure having nanometer line-width
Edward Yi Chang (Inventor)
研究成果: Patent
Edward Yi Chang (Inventor)
研究成果: Patent
原文 | English |
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專利號 | US7,501,348B2 |
出版狀態 | Published - 10 3月 2009 |