Structure analysis, mechanical property, and biocompatibility of TaOxNy thin films

J. H. Hsieh*, Y. H. Lai, Y. C. Lin, S. J. Liao, C. Li, Y. H. Chang, C. C. Hu

*此作品的通信作者

研究成果 › 同行評審

5 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Structure analysis, mechanical property, and biocompatibility of TaOxNy thin films」主題。共同形成了獨特的指紋。

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