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Stressor design for FinFETs with air-gap spacers

  • Darsen D. Lu
  • , Angada B. Sachid
  • , Yao Min Huang
  • , Yi Ju Chen
  • , Chun Chi Chen
  • , Min Cheng Chen
  • , Chen-Ming Hu

研究成果: Conference contribution › 同行評審

指紋

深入研究「Stressor design for FinFETs with air-gap spacers」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Keyphrases

Engineering