Stacked Sidewall-Damascene Double-Layer Poly-Si Trigate FETs with RTA-Improved Crystallinity

Chiuan Huei Shen, Po Yi Kuo, Chun Chih Chung, Sen Yang Lee, Tien-Sheng Chao*

*此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

5 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Stacked Sidewall-Damascene Double-Layer Poly-Si Trigate FETs with RTA-Improved Crystallinity」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

Material Science