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Selective Deposition of PdO Nanoparticles on Si Nanodevices for Hydrogen Sensing
Yu Sheng Lin, Cheng Yen Wu, Fu Ming Pan,
Jeng Tzong Sheu
*
*
此作品的通信作者
生醫工程研究所
新世代功能性物質研究中心
研究成果
:
Article
›
同行評審
4
引文 斯高帕斯(Scopus)
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指紋
指紋
深入研究「Selective Deposition of PdO Nanoparticles on Si Nanodevices for Hydrogen Sensing」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Polysilicon Nanowires
100%
Nanodevices
100%
Selective Deposition
100%
Hydrogen Sensing
100%
Palladium Oxide Nanoparticles
100%
Palladium Oxide
75%
Local Joule Heating
50%
Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)
25%
H2 Gas
25%
H2 Sensing
25%
Humidity
25%
Spillover Effect
25%
Power Device
25%
Constant Power
25%
Deposition Power
25%
Reactive Interaction
25%
Humidity Interference
25%
Material Science
Oxide Compound
100%
Nanoparticle
100%
Palladium
100%
Nanodevice
100%
Nanoribbon
66%
Power Device
16%
Chemical Engineering
Polysilicon
100%
Nanobelts
100%
Nanoparticle
100%
Joule Heating
50%
Atomic Layer Deposition
25%