Reactive Sputtering Process Study for Vanadium Oxynitride Films

Nai Yun Chang, Chuan Li*, Jang Hsing Hsieh*

*此作品的通信作者

研究成果: Article同行評審

2 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Reactive Sputtering Process Study for Vanadium Oxynitride Films」主題。共同形成了獨特的指紋。

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