Phase and thickness dependence of thermal diffusivity in a-SiCxNy and a-BCxNy

Sur Chattopadhyay*, L. C. Chen, S. C. Chien, S. T. Lin, C. T. Wu, K. H. Chen

*此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

4 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Phase and thickness dependence of thermal diffusivity in a-SiCxNy and a-BCxNy」主題。共同形成了獨特的指紋。

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