Multi-Function Microelectromechanical Systems Implementation with an ASIC Compatible CMOS 0.18 mu m Process

Chih-Hsuan Lin*, Chao-Hung Song, Kuei-Ann Wen

*此作品的通信作者

    研究成果: Article同行評審

    1 引文 斯高帕斯(Scopus)

    指紋

    深入研究「Multi-Function Microelectromechanical Systems Implementation with an ASIC Compatible CMOS 0.18 mu m Process」主題。共同形成了獨特的指紋。

    Engineering & Materials Science