Monolithic Multi-Sensor Design with Resonator-Based MEMS Structures
F. Y. Kuo*, C. Y. Lin, P. C. Chuang, C. L. Chien, Y. L. Yeh, Stella K.A. Wen
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
20
引文
斯高帕斯（Scopus）