Mobility improvement of HfO2 LTPS TFTs with nitrogen implantation

Ming Wen Ma*, Tsung Yu Yang, Kuo Hsing Kao, Chun Jung Su, Chih Yang Chen, Tien-Sheng Chao, Tan Fu Lei

*此作品的通信作者

研究成果: Conference contribution同行評審

指紋

深入研究「Mobility improvement of HfO2 LTPS TFTs with nitrogen implantation」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science