Low temperature gettering of Cu, Ag, and Au across a wafer of Si by Al

R. D. Thompson*, King-Ning Tu

*此作品的通信作者

研究成果: Article同行評審

66 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Low temperature gettering of Cu, Ag, and Au across a wafer of Si by Al」主題。共同形成了獨特的指紋。

Physics & Astronomy