Low temperature epitaxial growth of PZT on conductive perovskite LaNiO 3 electrode for embedded capacitor-over-interconnect (COI) FeRAM application
- S. L. Lung
- , C. L. Liu*
- , S. S. Chen
- , S. C. Lai
- , C. W. Tsai
- , T. T. Sheng
- , Ta-Hui Wang
- , Sam Pan
- , T. B. Wu
- , Rich Liu
*此作品的通信作者
研究成果: Conference article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）