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Investigation of gate oxide short in FinFETs and the test methods for FinFET SRAMs
Chen Wei Lin
,
Chia-Tso Chao
, Chih Chieh Hsu
電子研究所
研究成果
:
Conference contribution
›
同行評審
11
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Investigation of gate oxide short in FinFETs and the test methods for FinFET SRAMs」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Fin Field-effect Transistor (FinFET)
100%
TFET SRAMs
100%
Gate Oxide Short
100%
Fault Behavior
42%
Bulk MOSFET
28%
Electrical Characteristics
14%
CMOS Technology
14%
Transient Simulation
14%
Nanometer Scale
14%
Dielectric Thickness
14%
Mixed-mode Simulation
14%
Line Edge Roughness
14%
Device Level
14%
Test Efficiency
14%
Defect Characteristics
14%
New Test Method
14%
Independent Gate FinFET
14%
Engineering
Test Method
100%
Gate Oxide
100%
Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor
28%
Transients
14%
Dielectrics
14%
Nanometre
14%
Mixed Mode
14%
Edge Roughness
14%
Physics
Field Effect Transistor
100%
Transients
50%
Dielectric Material
50%
Material Science
Oxide Compound
100%
Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor
28%
Electrical Property
14%
Dielectric Material
14%