Improvement of polysilicon oxide by growing on polished polysilicon film
Tan Fu Lei*, Juing Yi Cheng, Shyh Yin Shiau, Tien-Sheng Chao, Chao Sung Lai
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）