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Improvement of hydrogenated amorphous-silicon TFT performances with low-κ siloxane-based hydrogen silsesquioxane (HSQ) passivation layer

  • Ta Shan Chang
  • , Ting Chang Chang
  • , Po-Tsun Liu
  • , Tien Shan Chang
  • , Chun Hao Tu
  • , Feng Sheng Yeh

研究成果: Article › 同行評審

23 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Improvement of hydrogenated amorphous-silicon TFT performances with low-κ siloxane-based hydrogen silsesquioxane (HSQ) passivation layer」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Keyphrases

Material Science