Improvement in Integration Issues for Organic Low-k Hybrid-Organic-Siloxane-Polymer
- Po-Tsun Liu*
- , Ting Chang Chang
- , Hsing Su
- , Yi Shian Mor
- , Ya Liang Yang
- , Henry Chung
- , Jan Hou
- , Simon M. Sze
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）