High tensile stress with minimal dopant diffusion by low temperature microwave anneal

Yao Jen Lee*, Yu Lun Lu, Zheng Chang Mu, Fu Kuo Hsueh, Tien-Sheng Chao, Ching Yi Wu

*此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

1 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「High tensile stress with minimal dopant diffusion by low temperature microwave anneal」主題。共同形成了獨特的指紋。

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