High-quality structures on 4H-SiC fabricated by femtosecond laser LIPSS and chemical etching

Yan Cheng Liang, Yi En Li, Yi Hsien Liu, Jia Fan Kuo, Chung Wei Cheng*, An Chen Lee

*此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

13 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「High-quality structures on 4H-SiC fabricated by femtosecond laser LIPSS and chemical etching」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

Material Science