High-density MIM capacitors with HfO 2 dielectrics

Tsu Hsiu Perng*, Chao-Hsin Chien, Ching Wei Chen, Peer Lehnen, Chun Yen Chang

*此作品的通信作者

研究成果: Article同行評審

39 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「High-density MIM capacitors with HfO 2 dielectrics」主題。共同形成了獨特的指紋。

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