HfO 2 MIS capacitor with copper gate electrode

Tsu Hsiu Perng*, Chao-Hsin Chien, Ching Wei Chen, Ming Jui Yang, Peer Lehnen, Chun Yen Chang, Tiao Yuan Huang

*此作品的通信作者

研究成果: Article同行評審

4 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「HfO 2 MIS capacitor with copper gate electrode」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds