Fabrication of omega-gated negative capacitance finfets and SRAM

P. J. Sung, C. J. Su, D. D. Lu, S. X. Luo, K. H. Kao, J. Y. Ciou, C. Y. Jao, H. S. Hsu, C. J. Wang, T. C. Hong, T. H. Liao, C. C. Fang, Y. S. Wang, H. F. Huang, J. H. Li, Y. C. Huang, F. K. Hsueh, C. T. Wu, W. C.Y. Ma, K. P. HuangY. J. Lee^*, Tien-Sheng Chao, J. Y. Li, W. F. Wu, W. K. Yeh, Y. H. Wang顯示 6 更多顯示較少