Fabrication of a polymer-based torsional vertical comb drive using a double-side partial exposure method

Junwei Chung*, Wen-Syang Hsu

*此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

13 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Fabrication of a polymer-based torsional vertical comb drive using a double-side partial exposure method」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering

Keyphrases