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Electroplating process of Ni-CNTS nanocomposite for MEMS resonator fabrication
Yi Chia Lee
*
,
Yu-Ting Cheng
,
Wen-Syang Hsu
*
此作品的通信作者
機械工程學系
研究成果
:
Conference contribution
›
同行評審
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指紋
指紋
深入研究「Electroplating process of Ni-CNTS nanocomposite for MEMS resonator fabrication」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Carbon Nanotubes
100%
Electroplating Process
100%
Carbon Nanotube Nanocomposites
100%
MEMS Resonator
100%
Hydrogen Peroxide
66%
Resonator
66%
Sodium Dodecyl Sulfate
66%
Surface Modification
33%
Resonant Frequency
33%
Sulfuric Acid
33%
Device Performance
33%
Microring Resonator
33%
Pure Ni
33%
Electroplating Bath
33%
Chemical Treatment
33%
Ni Matrix
33%
Material Science
Carbon Nanotube
100%
Microelectromechanical System
100%
Resonator
100%
Electroplating
100%
Nanocomposite
100%
Hydrogen Peroxide
33%
Sodium Dodecyl Sulfate
33%
Surface Modification
16%