Effects of stress on the growth of TiSi2 thin films on (001)Si
- S. L. Cheng*
- , H. Y. Huang
- , Y. C. Peng
- , L. J. Chen
- , Bing-Yue Tsui
- , C. J. Tsai
- , S. S. Guo
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
19
引文
斯高帕斯（Scopus）