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Effects of N+1 implantation on CoSi2 contacts on shallow junctions

  • K. M. Chen*
  • , S. L. Cheng
  • , L. J. Chen
  • , Bing-Yue Tsui
    • *此作品的通信作者

研究成果: Article › 同行評審

1 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Effects of N+1 implantation on CoSi2 contacts on shallow junctions」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Keyphrases

Engineering

Material Science

Chemical Engineering