Effectively blocking copper diffusion at low-k hydrogen silsesquioxane/copper interface
Po-Tsun Liu*, TC Chang, YL Yang, YF Cheng, FY Shih, JK Lee, E Tsai, SM Sze
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）