Effective strategy for porous organosilicate to suppress oxygen ashing damage
Po-Tsun Liu*, T. C. Chang, Y. S. Mor, C. W. Chen, T. M. Tsai, C. J. Chu, Fu-Ming Pan, S. M. Szea
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）