COMPARISON OF CW LASER AND ELECTRON-BEAM RECRYSTALLIZATION OF POLYSILICON IN MULTILAYER STRUCTURES.

C. I. Drowley*, Chen-Ming Hu

*此作品的通信作者

研究成果: Conference contribution同行評審

原文English
主出版物標題Materials Research Society Symposia Proceedings
編輯Jaydish Narayan, Walter Lyons Brown, Ross A. Lemons
頁面529-534
頁數6
DOIs
出版狀態Published - 1 12月 1983

出版系列

名字Materials Research Society Symposia Proceedings
13
ISSN(列印)0272-9172

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