Characteristics of the fluorinated high-κ inter-poly dielectrics

Chih Ren Hsieh*, Yung Yu Chen, Kwung Wen Lu, Kuo-Jui Lin, Jen Chung Lou

*此作品的通信作者

    研究成果: Article同行評審

    6 引文 斯高帕斯(Scopus)

    指紋

    深入研究「Characteristics of the fluorinated high-κ inter-poly dielectrics」主題。共同形成了獨特的指紋。

    Keyphrases

    Material Science

    Engineering