Characteristics of atomic-layer-deposited Al2O3 high- k dielectric films grown on Ge substrates

Chao Ching Cheng*, Chao-Hsin Chien, Guang Li Luo, Jun Cheng Liu, Chi Chung Kei, Da Ren Liu, Chien Nan Hsiao, Chun Hui Yang, Chun Yen Chang

*此作品的通信作者

    研究成果: Article › 同行評審

    43 引文 斯高帕斯（Scopus）

    指紋

    深入研究「Characteristics of atomic-layer-deposited Al2O3 high- k dielectric films grown on Ge substrates」主題。共同形成了獨特的指紋。

    Keyphrases

    Material Science