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A tilting micromirror with well-controlled digital angle through constrained lever structure
Jin-Chern Chiou
*
, C. F. Kuo, Y. C. Lin
*
此作品的通信作者
電機工程學系
研究成果
:
Conference article
›
同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「A tilting micromirror with well-controlled digital angle through constrained lever structure」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Mathematics
Micromirror
100%
Tilting
60%
Angle
41%
Actuator
38%
Electrostatics
23%
Substrate
22%
Voltage
11%
Relative Error
10%
Experimental Results
9%
Model
3%
Physics & Astronomy
levers
65%
actuators
24%
electrostatics
14%
electric potential
5%
Chemical Compounds
Error
36%
Voltage
35%
Engineering & Materials Science
Electrostatic actuators
30%
Substrates
13%
Actuators
7%
Electric potential
5%