A monolithic CMOS MEMS accelerometer with low noise gain tunable interface in 0.18μm CMOS MEMS technology

Yi Da Lin, Jian Yuan Lin, Chun Kai Wang*, Long Sheng Fan, Kuei-Ann Wen

*此作品的通信作者

    研究成果 › 同行評審

    3 引文 斯高帕斯（Scopus）

    指紋

    深入研究「A monolithic CMOS MEMS accelerometer with low noise gain tunable interface in 0.18μm CMOS MEMS technology」主題。共同形成了獨特的指紋。

    Keyphrases

    Engineering

    Earth and Planetary Sciences

    Physics