A low temperature fabrication of Hf O2 films with supercritical C O2 fluid treatment
- Chih Tsung Tsai*
- , Ting Chang Chang
- , Kon Tsu Kin
- , Po-Tsun Liu
- , Po Yu Yang
- , Chi Feng Weng
- , Fon Shan Huang
*此作品的通信作者
研究成果: Article › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）