An-Chen Lee (Inventor)
研究成果: Patent
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TY - PAT
T1 - 用於金屬有機化學氣相沉積的真空壓力控制裝置
AU - Lee, An-Chen
PY - 2016/10/21
Y1 - 2016/10/21
M3 - Patent
M1 - I554638
ER -