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查看斯高帕斯 (Scopus) 概要
邱 一
教授
電機學院/資訊學院碩士在職專班
https://orcid.org/0000-0002-1149-9228
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1112
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2021
MEMS Using CMOS Wafer
Fang, W., Li, S. S.,
Chiu, Y.
& Li, M. H.,
1 1月 2021
,
3D and Circuit Integration of MEMS.
wiley
,
p. 131-220
90 p.
研究成果
:
Chapter
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同行評審
Micro-electro-mechanical Systems
100%
Complementary Metal Oxide Semiconductor
100%
Semiconductor Wafer
100%
Micro-Electro-Mechanical System
100%
Complementary Metal-Oxide-Semiconductor
100%
7
引文 斯高帕斯(Scopus)