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林 群雄
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國際半導體產業學院
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+886-3-5712121#55918
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Chun_lin
nycu.edu
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2021
Effect of Annealing Temperature on Ferroelectric Properties of ALD Deposited TiN/HZO/TiN Capacitor
Lin, J.-W., Lin, J.-W., Wu, J.-S., Su, C.-J.,
Chang, E. Y.
&
Lin, C.-H.
,
10月 2021
.
研究成果
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Annealing
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