Equipments Details
Description
功能： (1) 電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構. (2) 表面能階分析(EDS)：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成. (3) 試片前處理:新購置離子研磨機,具有剖面研磨&表面研磨功能,協助讓試片表面更平整,便於SEM觀察重要規格： (1)電子源：冷陰極電子槍. (2)操作電壓：0.1kV~30kV. (3) 試片尺寸：50mm diameter x 50mm diameter. (4)解析度：10A° (at 15kV) or 13A° (at 1kV). (5)放大倍率20倍~80萬倍（依試片本身而定）. (6) 二次電子解析度1.0nm(15kV下). (7) EDS可提供全能譜定性分析（Be4~U92）、半定量分析及元素分佈圖. (8)離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar). (9) 剖面研磨範圍X:≥7mm Y: ≥3mm. (10) 表面研磨速度：0°：≥2μm/hr 60°：≥20μm/hr
Details
| Name | Hitachi SU-8010 |
|---|---|
| Acquisition date | 1/10/13 |
| Manufacturers | Hitachi, Ltd. |
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